Improvement of Interface Properties for Thermally Oxidized SiC/SiO<sub>2</sub> MOS Capacitor by Post Oxidation Annealing Treatment
نویسندگان
چکیده
In this work, we report an innovative approach to improve the interface properties of SiC/SiO 2 metal oxide semiconductor (MOS) capacitors. High temperature (1350°C) oxidation under different ambient is followed by a combination post-oxidation annealing (POA) treatments using N , O and NO gases. TOF-SIMS analysis shows silicon nitrogen peaks near interface. The peak attributed emission carbon atoms during high oxidation. accumulation caused presence or POA. One lowest interface-trap densities along with good dielectric strength has been demonstrated gas POA treatment.
منابع مشابه
EFFECT OF POST-DEFORMATION ANNEALING TREATMENT ON INTERFACE PROPERTIES AND SHEAR BOND STRENGTH OF Al-Cu BIMETALLIC RODS PRODUCED BY EQUAL CHANNEL ANGULAR PRESSING
Effects of annealing treatment after equal channel angular pressing (ECAP) on the interface properties and shear bond strength of Al/Cu bimetallic rods were investigated. For the as-deformed samples, the one with two passes of ECAP indicated higher shear bond strength. Formation of a layer of intermetallic compounds after annealing treatment is confirmed. In general, by increasing annealing tem...
متن کاملcontrol of the optical properties of nanoparticles by laser fields
در این پایان نامه، درهمتنیدگی بین یک سیستم نقطه کوانتومی دوگانه(مولکول نقطه کوانتومی) و میدان مورد مطالعه قرار گرفته است. از آنتروپی ون نیومن به عنوان ابزاری برای بررسی درهمتنیدگی بین اتم و میدان استفاده شده و تاثیر پارامترهای مختلف، نظیر تونل زنی(که توسط تغییر ولتاژ ایجاد می شود)، شدت میدان و نسبت دو گسیل خودبخودی بر رفتار درجه درهمتنیدگی سیستم بررسی شده اشت.با تغییر هر یک از این پارامترها، در...
15 صفحه اولEffect of Post-Sintering Annealing Treatment on Magnetic Properties of Some Nd Fe b Based Magnets
Effects of post-sintering annealing treatment between 300 and 1000ºC for up to 8 hrs time periods followed by either furnace cooling (FC) or air-cooling (AC) on the hard magnetic properties of some Nd-Fe-B based sintered magnets was investigated. It was shown that the intrinsic coercivity (Hci), second quadrant demagnetization loop shape and thus the energy density (BH)max varied considerably a...
متن کاملChemical properties and cytotoxicity of thermally oxidized oil.
Heated frying oils with different chemical properties in terms of AV (acid value), POV (peroxide value), COV (carbonyl value), and contents of polar compounds (PC) and triacylglycerol (TG), as well as color and odor, were obtained. Male Wistar rats were fed ad libitum for 12 weeks a powdered diet (AIN93G; no fat) containing 7 wt% of fresh oil (control) or one of the frying oils described above....
متن کاملapplication of upfc based on svpwm for power quality improvement
در سالهای اخیر،اختلالات کیفیت توان مهمترین موضوع می باشد که محققان زیادی را برای پیدا کردن راه حلی برای حل آن علاقه مند ساخته است.امروزه کیفیت توان در سیستم قدرت برای مراکز صنعتی،تجاری وکاربردهای بیمارستانی مسئله مهمی می باشد.مشکل ولتاژمثل شرایط افت ولتاژواضافه جریان ناشی از اتصال کوتاه مدار یا وقوع خطا در سیستم بیشتر مورد توجه می باشد. برای مطالعه افت ولتاژ واضافه جریان،محققان زیادی کار کرده ...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Materials Science Forum
سال: 2023
ISSN: ['1422-6375', '0250-9776', '0255-5476', '1662-9752', '1662-9760']
DOI: https://doi.org/10.4028/p-v0j9jt